CLEANROOM MEASUREMENT
クリーンルームの測定
クリーンルームの性能がきちんと保たれているかを確認するには定期的な測定が大事です。
また、以下のようなときには試験が必要です。
・清浄度クラスを特定する場合
・竣工時に立上げ検査
・クリーンルームに何らかの問題が発生し、修正したときの検証
・定期的な性能確認試験
| クリーンルーム測定の種類
〈清浄度測定(浮遊微粒子測定)〉
室内の清浄度が求められる清浄度クラスに保たれているかを確認します。
〈風速・風量測定(換気回数測定)〉
適切な風量が確保されているのかを確認します。
風量が確保されていないと室圧が乱れ、隣接した区域からの空気を招く原因にもなります。
また、清浄度を確保するため部屋の空気が必要回数以上入れ替わっているか確認します。
〈室内圧力差測定〉
隣接する区域に対して差圧が保たれているかを確認します。
部屋の用途により陽圧・等圧・陰圧が決められており、室圧が乱れると、隣接した区域から
の空気を招く原因にもなります。
〈温度・湿度測定〉
部屋の用途により必要な温度・湿度で管理されているのかを確認します。
〈HEPAフィルタリーク測定〉
HEPAフィルタの破損や劣化により微粒子の漏れがないかを確認します。
またズレによっても漏れがないかを確認します。
〈清浄度回復〉
どれくらいの時間で設計値通りの清浄度になるのかを確認します。
〈気流分布〉
室内での風速の均一性を測ります。
〈照度〉
部屋の用途により作業の効率性や快適さを維持しているのかを確認します。
〈浮遊菌数検査〉
菌は単体では空中を移動出来ないとされているが、室内にどれだけの菌が浮遊しているのかを確認します。
〈表面付着菌数検査〉
私たちが普段触れている場所にどれだけの菌がついているのかを確認します。
